3/14-17にかけて東京理科大学野田キャンパスで行われた第72回応用物理学会春季学術講演会にて、M1の劉さんがAlScN薄膜の極性について、M1の三高さんがマスクレスコンビナトリアルPLD法によるAlScN薄膜の作製について発表を行いました。
名古屋大学 エネルギー理工学専攻
3/14-17にかけて東京理科大学野田キャンパスで行われた第72回応用物理学会春季学術講演会にて、M1の劉さんがAlScN薄膜の極性について、M1の三高さんがマスクレスコンビナトリアルPLD法によるAlScN薄膜の作製について発表を行いました。