強誘電体応用会議FMA-42

6/11-14にかけて京都産業会館ホールで行われた強誘電体応用会議FMA-42にて、M2の劉さんがITO上AlScN薄膜の極性について、同 三高さんがマスクレスコンビナトリアルPLD法によるAlScN薄膜の作製について発表を行いました。